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    合成石英材料

    适用于光学、半导体、光伏、显示面板、光通信、光源等行业应用。

    长飞石英公司基于自主CVD合成工艺,使用SiCl4,有机硅烷等原料,结合多种纯化及掺杂技术,制备高品质合成石英材料,为客户提供性能优异、稳定、可定制化的石英材料及产品。

    半导体用合成石英

    型号

    产品类型

    典型尺寸 (mm)

    产品特性

    YS-1220

    石英锭

    Φ150x100

    长飞半导体用合成石英锭,基于多种合成石英制备工艺,具备优异且稳定的各项理化性能:

    • ppb级别杂质含量
    • 羟基含量可控(0.5-1000ppm)

    可充分满足半导体、显示面板、光伏生产中各工艺制程的应用需求

    Φ300x50

    400x400x50

    YS-2230/YS-1230

    500x500x60

    YS-1240

    Φ1000x30

    YW-1804/1806/1808/1812

    石英晶圆

    Φ150~300

    最小厚度:0.05

    YSM-6025/YSM-6025R

    掩膜基板

    152.4x152.4x6.35

    YR-1220 / YR-1230 / YR-1240

    石英棒

    Φ2~200

    最大长度:3000

    YT-2220 / YT-2230

    石英管

    外径范围:15 ~ 90

    壁厚范围:1.0 ~ 30

    最大长度:2000

     

    典型的微量杂质含量(ppm)

    型号 Li

    Na

    K Mg Ca Cu Al Cr Fe Ti OH

    YS-1320 / YS-1220

    <0.001 ≤0.003 ≤0.001 ≤0.001 ≤0.001  ≤0.001 ≤0.003 ≤0.001 ≤0.001 ≤0.005 <1

    YS-2330 / YS-2230

    <0.001 ≤0.005 ≤0.005 ≤0.005 ≤0.005 ≤0.001 ≤0.005 ≤0.001 ≤0.001 ≤0.008 <250

     

     

    光通信,光源用合成石英

    典型型号 

    典型尺寸 (mm)

    OH含量 (ppm)

    相对折射率

    金属杂质含量(ppm)

    产品特性

    YT-2120 / YT-2420

    外径范围:Φ15 ~ 90

    壁厚范围:1.0 ~ 30

    最大长度:2000

    ≤ 1

    ≤ 0.05

    长飞合成石英管,基于合成石英制备工艺及“无接触法”管材拉制工艺,具备优异且稳定的各项理化性能与外形几何指标:

    • 极佳的深紫外到近红外波段光学透过率
    • 羟基含量可控(0.02-200ppm)
    • 折射率可定制(深掺氟)NA=0.22

    可满足光纤预制棒制备、光源、医疗、工业等各行业对石英玻璃的严苛应用要求

    YT-2121 / YT-2421

    ≤ 1

    -0.35% ~ 0

    YT-2110 / YT-2410

    ≤ 0.1

    YT-2130

    50 ~ 200

    YT-1121*

    ≤ 1

    -1.1% ~ 0

    YR-1120

    石英棒

    ≤ 1

    YR-1140

    >1(可定制)

     

    几何规格与精度(单位:mm)

    主要参数 衬管 小规格套管 大规格套管

    外径OD

    15 ~ 40 40 ~ 60 60 ~ 90

    壁厚WT

    1.0 ~ 10 2 ~ 15 10 ~ 30
    外径公差 ± 0.80 ± 0.80 ± 2.00
    壁厚公差 ± 0.30 ± 0.30 ± 3.00
    不圆度 ≤ 0.15 ≤ 0.40 ≤ 0.40
    偏壁 ≤ 0.15 ≤ 0.45 ≤ 0.45
    CSA偏差 ≤ 6.0% ≤ 6.0% ≤ 6.0%
    弓曲(mm/m) ≤ 0.70 ≤ 0.70 ≤ 0.70
    长度 ≤ 2000 ≤ 2000 ≤ 2000

    注:高精度管可定制规格

     

    光学用合成石英

    型号

    产品类型

    OH含量(ppm) 光学均匀性(ppm)

    应力双折射

    (nm/cm)

    条纹等级

    荧光

    气泡

    杂质含量(ppb)

    产品特性

    YS-1320

    石英锭

    <1

    ≤5

    ≤5

    5

    轻微蓝

    0

    ≤ 100

    长飞光学用合成石英锭,基于一步法、两步法等多种合成石英制备工艺,具备优异且稳定的各项理化性能:

    • 极佳的深紫外到近红外波段的光学透过率
    • 优秀的光学均匀性、应力与热吸收控制
    • 羟基含量可控(0.5-1000ppm)

    可充分满足精密光学、激光等多种光学应用需求

    YS-2330

    <250

    ≤5

    ≤5

    5

     

    ①:可根据用户需求定制更低应力双折射产品

    ②:0级标准:每100cm3玻璃中气泡横截面的总和不超过 0.015mm²,最大颗粒直径满足1/1*0.08

    ③:条纹等级参照ISO-10110

    ④:使用254nm泵灯激发

    ⑤:标准值≤100ppb,典型值≤20ppb

    光学均匀性

    △n均匀性等级(单位:ppm)

    型号

    S

    H2

    H5

    H10

    YS-1320

    ≤ 1

    ≤ 2

    ≤ 5

    ≤ 10

    YS-2330

    ≤ 1

    ≤ 2

    ≤ 5

    ≤ 10

    ①S级可根据需求定制提供

    ②不同光均等级,对应于相应的尺寸,详细指标可与长飞公司联络确认 

    光学透过性能

    应力双折射

    注:测试为材料90%区域

     

    热吸收系数

    型号

    热吸收系数@1064nm(ppm/cm)

    YS-1320

    <1

    YS-2330

    <3

    注:热吸收系数测试采用偏转法(1064nm),检测结果仅基于本公司的标准与方法

     

    折射率

    谱线波长(nm) 折射率 谱线波长(nm) 折射率
    YS-2330 YS-1320 YS-2330 YS-1320
    194.2 1.559066 1.559033 632.8 1.457158 1.457106
    365 1.474671 1.474616 643.8 1.456845 1.456794
    404.6 1.469755 1.469702 656.3 1.456506 1.456458
    435.8 1.466831 1.466778 706.5 1.455286 1.455232
    479.9 1.463639 1.463592 852.1 1.452608 1.452558
    486.1 1.463261 1.463220 1013.98 1.450390 1.450338
    546.1 1.460218 1.460163 1529.6 1.444422 1.444361
    587.6 1.458602 1.458549 1970.1 1.438731 1.438667
    589.3 1.458542 1.458492 2325.4 1.433034 1.432974

    ①:测试条件:20.0℃,1atm大气压,湿度50.0%

     

    Sellmeier方程色散常数

    型号

    B1

    C1

    B2

    C2

    B3

    C3

    B4

    C4

    YS-2330 0.124307 0.006456 0.823954 0.006473 0.156097 0.017157 0.673277 74.923787
    YS-1320 0.112372 0.006311 0.811965 0.006294 0.179903 0.016600 0.697481 77.351514

    Sellmeier Equation:n2-1=B1λ2/(λ2-C1)+B2λ2/(λ2-C2)+B3λ2/(λ2-C3)+B4λ2/(λ2-C4),λ in μm

    长飞合成石英-其它指标
    • 机械性能
    参数 单位 测试结果
    密度 g/cm3 2.20

    莫氏硬度

    -

    7

    杨氏模量

    GPa

    74.20

    剪切模量

    GPa

    31.22

    泊松比

    -

    0.17

    抗压强度

    GPa

    0.113

    抗拉强度

    MPa

    49

    弯曲强度

    MPa

    94.3

     

    • 电学性能
    参数 单位 测试结果
    介电常数(20°C,500MHz) - 3.90
    电阻率(20°C) Ω·cm 0.1*1018
    介电损耗角度(tanδ,500MHz)

    -

    < 0.001

    电阻 8.0*1015

     

    • 热学性能
    参数 单位 YS-1320 YS-2330
    应变点(η=1014.5dPa·s) °C 1070 1000
    退火点(η=1013dPa·s) °C 1200 1160
    软化点(η=107.6dPa·s) °C 1680 1620

    建议与反馈

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